Wir sind Ihr Partner für Industrieforschung und Entwicklung von siliziumbasierten Sensoren.
Sie profitieren von unserer langjährigen Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung. Wir bieten eine geschlossene in-Haus-Wertschöpfungskette vom Design bis zur Fertigung.
Tätigkeitsschwerpunkte sind MEMS und MOEMS mit höchster Stabilität und Zuverlässigkeit.
Sie erhalten angepasste kundenspezifische Lösungen für Ihre Sensorsysteme, sowie die Fertigung in Kleinserien und die Qualifikation der Zuverlässigkeit und Lebensdauer.
Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH ist zertifiziert nach DIN EN ISO 9001:2015
Aktuelles
- 7. April 2025Gemeinsam mit dem CiS Forschungsinstitut vergibt der CiS e.V. den Silicon Science Award. Junge Nachwuchswissenschaftlerinnen und -wissenschaftler sollen ermutigt werden, sich mit Themen und Forschungsaufgaben rund um siliziumbasierte Sensorik, Aktorik, optoelektronischen Mikrosystemen sowie Quantentechnologien auseinander zu setzen und ihre Arbeiten einer breiten Öffentlichkeit vorzustellen. Einreichungen sind bis zum 3. Juni 2025 möglich. Die Prämierung erfolgt am 3. Dezember 2025 auf der internationalen Konferenz WaferBond 2025 in Chemnitz [weiterlesen]
Wir radeln mit! 5 Jahre Stadtradeln am CiS Forschungsinstitut18. August 2025Vom 18. August bis 7. September 2025 wird wieder ordentlich in die Pedale getreten - für ein fahrradfreundliches Erfurt, weniger Autoverkehr und viele neue Baumpflanzungen. Wie in jedem Jahr spendiert das Erfurter Umwelt- und Naturschutzamt pro gefahrene 1.000 Kilometer einen Baum für den nahegelegenen Willroder Forst [weiterlesen]
Projektabschluss Inkjet Printing galvanisch verstärkter Infrarot-Emitter5. August 2025Im abgeschlossenen Forschungsvorhaben IJP-IR wurden alternative Prozesse auf Basis der Inkjet-Technologie und galvanischer Abscheidung für die Herstellung von IR-Emittern untersucht. Der neue Prozess reduziert Lithographie- und Hochvakuum-Schritte auf ein Minimum und erweitert die Materialauswahl für CMOS-kompatible Systeme [weiterlesen]
Neue Montagetechnologien von IR-Komponenten auf Basis polymerfreier Fügetechnologien29. Juli 2025Das neue ZIM-Projekt IR-Batch legt den Fokus auf die Entwicklung neuer Montagetechnologien von Infrarot- Komponenten auf Basis polymerfreier Fügetechnologien für den Einsatz bei hohen Temperaturen und extremen Umgebungsbedingungen. Das CiS Forschungsinstitut ist für die Technologienentwicklung verantwortlich [weiterlesen]
Entwicklung eines Hochdrucksensors bis 300 MPa mit frontbündigem Medienanschluss23. Juli 2025Mit der erfolgreichen Entwicklung eines siliziumbasierten Hochdrucksensors mit frontbündigem Medienkontakt für einen Messbereich bis 300 MPa wurde das ambitionierte Ziel des Forschungsprojekts erreicht. Gerade der frontbündige Medienanschluss macht den Sensor ideal für sensible Bereiche mit strengen Hygienebestimmungen, etwa in der Lebensmittelindustrie oder Pharmazie [weiterlesen]
Projektabschluss FIRE: Flinke Infrarot-Emitter als monolithisch integrierte Arrays15. Juli 2025Von der zentralen Idee, mehrere kleine und damit schnelle aktive Flächen in einem Chip zu integrieren, konnten anfangs durch hybride Integration von einzelnen, sehr kleinen (1x1 mm²) Chips schließlich in Varianten von monolithisch integrierten Arrays überführt werden [weiterlesen]
| Termine |
|---|
| 27.08.2025: 17. Erfurter TechnologieDialog Erfurt, Deutschland [+Cal] |
| 07.09.2025 - 10.09.2025: EUROSENSORS XXXVII Wroclaw, Polen [+Cal] |
| 17.09.2025: CiS MEMS Workshop: Siliziumbasierte MEMS-Sensorik - Trends und Applikationen Erfurt, Deutschland [+Cal] |
| 24.09.2025 - 26.09.2025: ZVO Oberflächentage Berlin, Deutschland [+Cal] |
| 24.09.2025 - 26.09.2025: Sensor China Expo & Conference 2025 Shanghai, China [+Cal] |
| [alle Termine anzeigen] |
